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            2019年

          • 201912

            泛半導體應用TFLITE研制成功
          • 201912

            獲評國家知識產權示范企業
          • 201912

            完成第四輪融資
          • 20199

            SACVD研制成功并出廠到客戶端

            2018年

          • 201812

            首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
          • 201810

            12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證

            2017年

          • 201712

            首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
          • 201710

            PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
          • 20179

            SAP系統上線
          • 20178

            完成第三輪融資

            2016年

          • 201612

            拓荊新廠投入使用
          • 20164

            十一五重大專項通過國家驗收
          • 20163

            首臺12英寸ALD出廠到客戶端

            2015年

          • 201512

            獲批國家十三五科技重大專項
          • 20159

            完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
          • 20153

            PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片

            2014年

          • 201412

            獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
          • 20148

            中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
          • 20145

            完成公司首輪增資

            2013年

          • 201312

            PF-300T通過中芯國際產品線測試
          • 20135

            首臺12寸PF-300銷售

            2012年

          • 201212

            推出12英寸多反應腔PF-300T設備

            2011年

          • 201110

            首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
            成功研制2-12英寸單腔SC-300設備

            2010年

          • 201010

            12英寸PECVD樣機1裝調完成
          • 20104

            沈陽拓荊科技有限公司成立

            2009年

          • 20099

            12英寸PECVD設計工作啟動

            2008年

          • 200812

            獲批國家十一五科技重大專項
          • 20084

            首臺CC1-150銷售

            2007年

          • 20076

            首臺CC1-150裝調完成

            2006年

          • 20067

            PECVD事業部成立于中科院沈陽科儀

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          2019年
          • 12

            2019
            泛半導體應用TFLITE研制成功
          • 12

            2019
            獲評國家知識產權示范企業
          • 12

            2019
            完成第四輪融資
          • 9

            2019
            SACVD研制成功并出廠到客戶端
          2018年
          • 12

            2018
            首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
          • 10

            2018
            12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
          2017年
          • 12

            2017
            首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
          • 10

            2017
            PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
          • 9

            2017
            SAP系統上線
          • 8

            2017
            完成第三輪融資
          2016年
          • 12

            2016
            拓荊新廠投入使用
          • 4

            2016
            十一五重大專項通過國家驗收
          • 3

            2016
            首臺12英寸ALD出廠到客戶端
          2015年
          • 12

            2015
            獲批國家十三五科技重大專項
          • 9

            2015
            完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
          • 3

            2015
            PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
          2014年
          • 12

            2014
            獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
          • 8

            2014
            中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
          • 5

            2014
            完成公司首輪增資
          2013年
          • 12

            2013
            PF-300T通過中芯國際產品線測試
          • 5

            2013
            首臺12寸PF-300銷售
          2012年
          • 12

            2012
            推出12英寸多反應腔PF-300T設備
          2011年
          • 10

            2011
            首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
            成功研制2-12英寸單腔SC-300設備
          2010年
          • 10

            2010
            12英寸PECVD樣機1裝調完成
          • 4

            2010
            沈陽拓荊科技有限公司成立
          2009年
          • 9

            2009
            12英寸PECVD設計工作啟動
          2008年
          • 12

            2008
            獲批國家十一五科技重大專項
          • 4

            2008
            首臺CC1-150銷售
          2007年
          • 6

            2007
            首臺CC1-150裝調完成
          2006年
          • 7

            2006
            PECVD事業部成立于中科院沈陽科儀

          ?2018 拓荊科技 遼ICP備05007152號

          技術支持:優諾科技

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